中国狂买“过时”光刻机，美国专家惊出冷汗：他们在下一盘大棋！信源：环球
中国狂买“过时”光刻机，美国专家惊出冷汗：他们在下一盘大棋！信源：环球时报——外媒:中国正在大举采购在全球科技博弈的棋盘上，光刻机始终是块关键棋子。美国对中国的技术封锁，在这一领域表现得尤为直白他们只愿向中国出口采用DUV技术的深紫外光刻机，这套被视作“过时货”的设备，本是美方遏制中国芯片产业升级的手段，妄图用技术代差捆住中国前进的脚步。可他们没算到，中国企业不仅大买特买这些DUV设备，更悄悄将其变成了破解技术壁垒的“钥匙”。科研人员把设备拆开、研究、逆向学习，在一个个精密部件的钻研里，硬生生蹚出了自主研发的路子，这步暗棋，让美国专家克里斯・米勒直言“后背发凉”。回溯过往，美国为卡断中国光刻机发展的路，手段层层加码。2018年那阵，特朗普政府就盯上了荷兰阿斯麦公司——这家手握顶尖EUV极紫外光刻机技术的企业，当时中芯国际已订购两台EUV设备，却被美方横插一脚。时任美国国务卿蓬佩奥亲自飞赴荷兰游说，甚至拿出所谓“机密情报”渲染风险，逼着荷兰政府不给阿斯麦续期出口许可证，两台价值1.5亿美元的设备至今没能送到中国。到了2023年，美国又搬出《外国直接产品规则》搞长臂管辖，以阿斯麦设备含美国技术为由，彻底禁了EUV对中国的出口；今年更是变本加厉，连之前“放行”的DUV光刻机，也想纳入限制范围，就是不想让中国在半导体设备上有半点突破。可封锁越严，中国科研人员的劲头越足。拆解开的DUV光刻机里，每一个齿轮、每一束光源都成了学习的样本。中芯国际正是凭借这项从DUV光学系统钻研中诞生的技术，用本被视作“过时”的设备量产7纳米芯片，搭载该芯片的华为Mate60Pro上市即售罄；而在芯片制造的辅助环节，国内企业通过拆解DUV的精密传动结构，研发出自主可控的“硅片台，如今国产硅片台的定位精度已达纳米级，适配多款国产DUV设备；更关键的是光源技术，通过分析DUV光刻机的准分子激光光源，科研团队突破了高功率氟化氩激光发生器的技术瓶颈，国产光源的使用寿命从最初的1000小时提升至1.5万小时。除此之外，中国自主研发的氟化氪、氟化氩光刻机接连问世，其中氟化氩光刻机193纳米的光源波长，能实现65纳米以下的分辨率和8纳米以内的套刻精度。这意味着国内28纳米工艺芯片的量产有了国产设备支撑，半导体产业“卡脖子”的口子被撕开一道缝。这些突破远不止是多了几台设备那么简单。它让中国半导体产业摆脱了“别人给什么就用什么”的被动更培育出了一批能啃硬骨头的科研团队和企业，从核心部件到整体设备，产业链条一点点补全，自主创新的底气越来越足。如今再看，即便阿斯麦在美方压力下不断收紧出口限制，中国也再没了当初的慌神。毕竟自己手里有了技术，心里就有了底，所谓的“禁售”，反倒成了国产设备加速替代的推动力。而这样的故事，在中国制造向中国创造迈进的路上，早已不是第一次上演。美国曾试图用芯片、操作系统“卡”华为的脖子，可禁令下达后，华为联合国内企业埋头攻关，国产芯片一步步突破制程限制，搭载国产芯片的5G手机重新回到市场；鸿蒙操作系统从手机端延伸到电脑端，实现了从内核到应用的全栈自主可控，再也不用看别人脸色。从当年的“两弹一星”，到如今的载人航天、国产大飞机、量子计算，哪一次不是在外部封锁的压力下，靠着自己的力量闯出一条路来？如今的中国，人工智能、无人机、新能源这些新兴领域里，中国企业也从跟跑者变成了并跑者，甚至在不少领域成了领跑者。美国总想用“小院高墙”把中国挡在科技进步的门外，可事实一次次证明，封锁从来不是中国科技的终点，反倒是激发创新活力的起点。毕竟，中国人骨子里就有股不服输的劲，越被限制，就越要突破，这条逆势生长的路，中国不仅走通了，还会越走越宽。
